設備・仕様

コーティング装置（2台）

排気系	油拡散ポンプ+メカニカルブースターポンプ+油回転ポンプ
到達圧力	1.2x10-4[Pa]
蒸発源系	HCD方式蒸発源
基板加熱系	カートリッジヒーター
基板加熱温度	350[℃] (max 500[℃])
真空槽	横型タイプ	横型タイプ
真空槽寸法	φ1000 x 2400	φ1200 x 2400
処理有効寸法	φ700 x 900	φ900 x 900
基板治具系	自公転
導入ガス	Ar、N2、O2、C2H2

コーティング装置

自動洗浄機

5槽直振動式超音波洗浄機を使用し、洗浄から乾燥まで自社の洗浄設定により自動で行われます。
洗浄槽から純水槽までは精密脱脂・コンタミの除去を可能とする直振動が行われ、各種ＩＰ前部品等の洗浄を目的とした自動洗浄機です。